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当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；
打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；
.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；
当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机枪进行检查。 在再次打开分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
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在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵；
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分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中，分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。Agilent TV301销售中心
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光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备，生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本，全世界仅有数生产厂家把握，Agilent TV301销售中心，因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成，缘故是极紫外线很娇气，在空气中非常容易耗损。另外，在光刻技术全过程中，机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计，这对磁悬浮分子泵的震动值规定极高。（注：皮秒激光=兆分之一秒）Agilent TV301销售中心
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分子泵是一种高速运行的机械泵，因此对平衡的要求很高，对固体不干净的东西十分比较敏感，一般要在分子泵的通道安装金属复合材料过滤网。分子泵工作中整个过程中，倘若气体压强突然恶化，则有可能损坏叶片。Agilent TV301销售中心
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基础的分子泵运用滚柱轴承来确保叶片的高速运行。新型的分子泵采用磁悬浮构造，促进叶片传动比不断提高的此外，更使分子泵适合极高真空技术，也提升了分子泵的使用寿命。Agilent TV301销售中心
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