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牵引分子泵的优点是启动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸气,特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小,密封间隙太小,工作可靠性较差,易出机械故障,而且制造困难,实际上很少应用。后来对牵引分子泵进行了改进,出现了涡轮分子泵。

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当分子泵出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵;

 当分子泵未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作;

 当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。




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检查滚珠轴承,如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。尚可使用的用或煤油将轴承清洗干净后涂黄油保存。

检查叶轮上是否有裂痕或小孔,Agilent TV301销售中心,叶轮固定螺母是否松动,如有损坏应修理或更换。检查叶轮减磨环处间隙,如超过规定值,应修理或更换。若水泵和管道都不拆卸时,应用盖板将出口封好,以防杂物进入。


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磁场屏蔽出现的问题

  旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:

  ①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;

  ②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;

  ③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;

  ④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。

  分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。





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1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?

  原因:附近有光照或其他热源

  解决方法:避免光照或热源

  2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?

  原因:冷却不良,负载太大

  解决方法:检查冷却系统,检查真空系统

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振动频率为60%-工作转速,或者是密封间隙过大,护圈松动,密封磨损

处理方法:检查、调整或更换密封;

振动频率为2倍工作转速,不对中,联轴器松动,密封装置摩擦,壳体变形,轴承损坏,支承共振,推力轴承损坏,轴弯曲,不良的配合

处理方法:检查,采取相应措施,修理、调整或更换;




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